Мікроелектронний газорезистивний датчик на основі нанокристалічних плівок діоксиду олова з тербієм та

Розглянуто технологію мікроелектронних резистивних газових датчиків. Нагрівач і терморезисторні контакти утворюються на окисленій кремнієвій підкладці шляхом розпилення ніхромової плівки та подальшої фотолітографії у поєднанні з реактивним магнетронним напиленням нанокристалічної плівки діоксиду олова з добавками тербію та сурми. Датчику 1,5 × 1,5 мм потрібно 90 мВт для нагрівання до оптимальної робочої температури 250–280 ° C. Датчик має дуже високу чутливість до спиртів та низьку чутливість до бензолу та ацетону.

Це попередній перегляд вмісту передплати, увійдіть, щоб перевірити доступ.

Параметри доступу

Придбайте одну статтю

Миттєвий доступ до повної статті PDF.

Розрахунок податку буде завершено під час оформлення замовлення.

Підпишіться на журнал

Негайний онлайн-доступ до всіх випусків з 2019 року. Підписка буде автоматично поновлюватися щороку.

Розрахунок податку буде завершено під час оформлення замовлення.

датчик

Список літератури

Т. Сейяма, А. Като і К. Фуджуїсі, “Новий детектор газоподібних компонентів із використанням напівпровідникових тонких плівок” Анальний Хім., 34, 1502–1503 (1962).

Г. Короценков та Б. К. Чо, “Склад оксиду металу в коригуючих газових датчиках та датчиках”, Датчик. Актуат. B-Chem., 244, 182–210 (2017).