Спостереження щодо ефекту зарядки непровідних та не покритих матеріалів іонним пучком

Додати до Менділі

Анотація

Дефекти заряду зразків непровідних матеріалів при скануючій електронній мікроскопії обговорюються з посиланням на поверхневе електричне поле, що генерується дозою освітлюючого електронного пучка. Якщо щільність заряду залежить від постійної часу релаксації, визначеної добутком діелектричної проникності та питомого опору, коли вона відома або доступна, електричне поле можна оцінити за падінням дози, що зберігається при освітленні пучком сканування електронів.

Спостереженням було встановлено, що необроблені або непровідні матеріали, попередньо бомбардовані позитивним іонним пучком, що сприяє утворенню негативного поля, разом із зарядними ефектами можуть бути усунені в оптимальний час нейтралізації.

---